Projektleiter: Prof. Dr.-Ing. habil. Günter Rösel Kooperationspartner: STEP Sensortechnik und Elektronik Pockau GmbH Auftraggeber: BMWi
Airborne Molecular Contamination (AMC) beschreibt alle Arten von gasförmigen Bestandteilen in der Luft von Reinräumen und/oder Prozessabteilungen der Halbleiterindustrie, die eine Verschmutzung der Oberfläche oder des Produkts in Kontakt mit Luft verursachen können. Der Nachweis, die Minimierung und der weitgehende Ausschluss von AMC ist ein Schlüsselproblem für die Verbesserung der Qualität von Wafern, Halbleiterbauelementen etc., die Minimierung der Kosten und somit ein wesentlicher Wettbewerbsvorteil.
Zielstellung des Vorhabens ist die Entwicklung eines neuartigen, stationär und transportabel einsetzbaren, online messenden AMC-Monitors basierend auf den drei unterschiedlichen Messverfahren IMS, GC-IMS und GC-PID, der sowohl für die Raumüberwachung in Reinräumen als auch zur Überwachung der Sauberkeit in FOUP-Reinigungsanlagen geeignet ist und die Messung einer Vielzahl AMC – typischer Substanzen ermöglicht.
Neben der Entwicklung und Umsetzung der erforderlichen Hardwarekomponenten ist die Erarbeitung der entsprechenden Steuer- und Auswertesoftware, insbesondere innovativer Signalverarbeitungsstrategien essentieller Bestandteil des Projektes.